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期刊

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2014, vol.134, no.1	2014, vol.134, no.10	2014, vol.134, no.11	2014, vol.134, no.12	2014, vol.134, no.2	2014, vol.134, no.3
2014, vol.134, no.4	2014, vol.134, no.5	2014, vol.134, no.6	2014, vol.134, no.7	2014, vol.134, no.8	2014, vol.134, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection	Kenta Kawashima; Eiji Makino; Takashi Mineta	2014	2014, vol.134, no.4
一対の熱式マイクロ·アクチュエータによる交互駆動光マイクロスキャナ	齊藤修太郎; 室英夫	2014	2014, vol.134, no.4
内部応力を利用したPZT薄膜キャパシタの剥離技術	末重良宝; 本多史明; 須賀唯知; 一木正聡; 伊藤寿浩	2014	2014, vol.134, no.4
SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針と磁歪膜積層デュアルカンチレバーの作製	川島健太; 峯田貴; 牧野英司; 川島貴弘; 柴田隆行	2014	2014, vol.134, no.4
デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工	山田周史; 人母岳; 寒川雅之; 安部隆	2014	2014, vol.134, no.4