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期刊

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2012, vol.132, no.1	2012, vol.132, no.10	2012, vol.132, no.11	2012, vol.132, no.12	2012, vol.132, no.2	2012, vol.132, no.3
2012, vol.132, no.4	2012, vol.132, no.5	2012, vol.132, no.6	2012, vol.132, no.7	2012, vol.132, no.8	2012, vol.132, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価	山下崇博; Sommawan Khumpuang; 三宅晃司; 伊藤寿浩	2012	2012, vol.132, no.4
高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法	松村武; 江刺正喜; 原田博司; 田中秀治	2012	2012, vol.132, no.4
準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル	丸山智史; 三田信; 諌本圭史; 鄭昌镐; 藤田博之; 年吉洋	2012	2012, vol.132, no.4
マイクロポンプ-センサ一体集積化デバイスの試作	坂本憲児; 石野祥太郎; 宮原裕二; 三宅亮	2012	2012, vol.132, no.4
ナノインプリントを用いた金属埋め込みポリマー微細周期構造体の作製	小粥教幸; 杉村竜; 瀧口義浩	2012	2012, vol.132, no.4