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期刊

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2011, vol.131, no.1	2011, vol.131, no.10	2011, vol.131, no.11	2011, vol.131, no.12	2011, vol.131, no.2	2011, vol.131, no.3
2011, vol.131, no.4	2011, vol.131, no.5	2011, vol.131, no.6	2011, vol.131, no.7	2011, vol.131, no.8	2011, vol.131, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
A Built-in Vibration Sensor Using Arc-Discharged Reactive Ion Plated PZT	Utku Baran; Masanao Tani; Masahiro Akamatsu; Yoshiaki Yasuda; Hiroyuki Fujita; Hiroshi Toshiyoshi	2011	2011, vol.131, no.3
近赤外分光用電磁駆動型2軸傾斜MEMSグレーティング	渡部善幸; 高橋義行; 阿部泰; 岩松新之輔; 矢作徹; 小林誠也; 今野俊介; 佐藤敏幸	2011	2011, vol.131, no.3
水晶振動子を用いた水素ガスセンサの開発	大井川寛; 山崎大輔; 植田敏嗣	2011	2011, vol.131, no.3
使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発	牧志渉; 池田雅春; 江刺正喜; 松永忠雄; 芳賀洋一	2011	2011, vol.131, no.3
MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング	柳田秀彰; 吉田慎哉; 江刺正喜; 田中秀治	2011	2011, vol.131, no.3
無線センサネットワークの開発動向	今仲行一; 佐々木昌	2011	2011, vol.131, no.3
メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作	山根大輔; 李宥憲; 藤田博之; 年吉洋	2011	2011, vol.131, no.3